广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力雄厚，普发涡轮分子泵检测，充满活力的高素质团队。

广州潽拓光电科技——专业维修保养普发Hipace 300

HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为电子显微镜和高duan质谱行业量身定做的产品。

HiPace C 系列涡轮分子泵适合腐蚀性气体环境。

涡轮分子泵应用Hipace 300

镀膜：光伏、CD/DVD/PVD

工业：灯管制造

研发：纳米技术、生物技术

分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体：PVD、CVD、Beamline、Inspection

       德国普发涡轮分子泵Pfeiffer HiPace 300 抽速可达到 260 l/s 涡轮分子泵。分子泵紧凑设计保证jia性能。Hipace 300 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业。涡轮分子泵Hipace 300 通过保护等级IP54、半导体 S2、UL / CSA  认证。PfeifferTMH071P涡轮分子泵是德国普发经典的分子泵之一，其转速为90000rpm,大量应用于分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。通过控制器监控运算数据保证分子泵的gao安全性。此款涡轮分子泵任意位置安装。可选风冷或水冷。多种配件可选

   广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力雄厚，充满活力的高素质团队。

广州潽拓光电——普发质谱仪分子泵保养Splitflow310-3P

  PFEIFFER SPLITFlow 310 3p 德国普发SPLITFlow 310 -3p 抽速：210 L/S 转速：60000 r/min SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。德国普发Pfeiffer分子泵电源DCU100是带集成驱动单元的涡轮分子泵附件。 普发SPLITFlow 310 3p涡轮分子泵 对氢为102～104； 对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。

设备运行时要注意保养，

-定期对冷却水系统进行维护，

-以防止水垢的大量凝结，

-影响冷却效果。

-真空腔体内应保持清洁，经常清除杂物。

   plitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。

分子泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。

压缩比除与泵的级数和转速有关外，现货SplitFlow310，还与气体种类有关。

分子量大的气体有高的压缩比。

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，普发涡轮分子泵，医liao，太阳能电池板，玻璃镀膜，科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等一线品牌分子泵，真空泵，真空计专业维修保养/销售等业务。体积流量随压力增加而减少，并在da压缩比$K_0$时达到0值。

广州潽拓——专业维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，普发涡轮分子泵性能，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作延迟就打开。

普发涡轮分子泵检测-普发涡轮分子泵-潽拓光电由广州潽拓光电科技有限公司提供。广州潽拓光电科技有限公司在真空泵这一领域倾注了诸多的热忱和热情，潽拓光电一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行润滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。相关业务欢迎垂询，联系人：邹先生。